Sistema PECVD de tres zonas de calentamiento a 1200 °C
Sistema PECVD de tres zonas de calentamiento a 1200 °C

Sistema PECVD de tres zonas de calentamiento a 1200 °C

SK2-CVD-12TPB4 es un horno de tubo para el sistema PECVD, que consta de una fuente de alimentación de RF de 300 W o 500 W, un sistema de flujo de precisión multicanal, un sistema de vacío y un horno de tubo. La temperatura utilizada habitualmente es de 1100 grados Celsius o inferior, y sus principales características son la baja temperatura de deposición, la velocidad rápida, la buena calidad de la película, la menor cantidad de poros y la menor propensión a agrietarse. Un dispositivo ideal para el crecimiento de nanocables o la preparación de diversas películas delgadas mediante el método CVD.
Envíeconsulta
Característica

 

● Temperatura máxima RT-1200 grado

● Tipo de horno dividido, puede abrir el horno.

● Puede introducir más de 2 canales de gas, con un grado de vacío de 10 Pa utilizando una bomba mecánica y una fuente de alimentación RF de 500 W para mejorar la señal.

● Materiales de aislamiento de fibra cerámica de alúmina de alto rendimiento y calidad.

● Precisión del control de temperatura ±1 grado

● Con función de alarma de sobretemperatura

● El ventilador de enfriamiento puede reducir la temperatura de la carcasa.

 

Modelo

Enfermedad cardiovascular SK2-TPB4

Dimensiones: Longitud de zona de calentamiento estándar (mm)

440 mm

Dimensiones: Diámetro del tubo estándar (mm)

∮60 mm

Temperatura máx.

1200 grados, temperatura de trabajo continuo 1100 grados.

Voltaje (V)

220 1P

Tipo de termopar

K

Elemento de calefacción

Alambre de resistencia de aleación HRE

Precisión de temperatura

±1 grado

Velocidad de calentamiento

Ajuste libre de 0-30 grados/min

Material de la cámara

Utilizando material de fibra microcristalina de alúmina de alta calidad avanzado

Estructura del horno

Estructura refrigerada por aire de doble capa, la temperatura de la superficie es inferior a 60 grados.

Controlador de temperatura

Instrumento de control de temperatura PID inteligente, 30 segmentos de programa, control SSR, función de autoajuste de parámetros PID; aumento de temperatura del programa, conservación del calor del programa, enfriamiento del programa

Fuente de alimentación RF de 500 W

Potencia de salida: 5-500W ±1 grado

Frecuencia de RF: 13,56 MHz ±0.005%

Potencia reflejada: hasta 100 W

Partido: Automático

Interfaz RF: 50Ω, tipo N

Refrigeración: refrigeración por aire

Fuente de alimentación: CA 208-240V, 50/60HZ

Sistema de flujo de precisión de 4 canales de gas

1. Caudal de escala completa (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500)ML/min. 10L/min.

2. Tipo de válvula: Válvula solenoide.

3. Posición de reposo de la válvula: Normalmente cerrada.

4. Presión diferencial: (50-300)kpa

5. Resistencia a la presión: 3mpa.

6. Temperatura de funcionamiento: 5-45 grado

7. Materiales: acero inoxidable 316L.

Sistema de vacío

5*10-3Pa

Conexión rápida KF25, fuelle de acero inoxidable, válvula de aleta manual y brida, bomba de vacío

Opcionalmente también se pueden equipar sistemas de mayor vacío.

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BIENVENIDOS OEM/ODM

 

accesorios estandar

 

Guantes térmicos|Gancho de crisol|Termopar|Bloque de tubos|Manual de usuario|Herramientas|Bomba de vacío|Tubo de cuarzo|Brida|Anillo de sellado|Manguera de gas de 10 mm|Soporte de brida, Sistema de gas, Potencia de RF.

 

Opcional

 

Diferentes zonas de calentamiento para su elección;

Control de pantalla táctil LCD para elegir

Puerto RS485/USB para conectar la computadora a elegir.

 

Imagen detallada de CVD-PECVD

 

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Fuente de alimentación RF de 500 W
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Sistema de vacío
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Sistema de flujo de precisión de 4 canales de gas

 

Solicitud

 

Este dispositivo se utiliza principalmente para cultivar nanocables o preparar diversos crecimientos de películas delgadas mediante el método CVD.

 

Garantía

 

Un año de garantía y soporte técnico de por vida.

Consejos especiales:

1. Los consumibles como el elemento calefactor, el tubo de cuarzo, el crisol de muestra, etc. no están dentro del período de garantía.

2. Los daños causados ​​por el uso de gases corrosivos y ácidos no están cubiertos por la garantía.

 

Etiqueta: Sistema de calefacción de tres zonas de 1200c, fabricantes y proveedores de sistemas de calefacción de tres zonas de 1200c en China